טכנולוגיית צנרת גז בטוהר גבוה היא חלק חשוב במערכת אספקת גז בטוהר גבוה, שהיא טכנולוגיית המפתח לספק את הגז הדרוש בטוהר גבוה לנקודת השימוש ועדיין לשמור על האיכות המוסמכת;טכנולוגיית צנרת גז בטוהר גבוה כוללת תכנון נכון של המערכת, בחירת אבזור ואביזרים, בנייה והתקנה ובדיקה.בשנים האחרונות, הדרישות הנוקשות יותר ויותר לגבי הטוהר והטוהר של גזים בעלי טוהר גבוה בייצור מוצרי מיקרואלקטרוניקה המיוצגים על ידי מעגלים משולבים בקנה מידה גדול, הפכו את טכנולוגיית הצנרת של גזים בעלי טוהר גבוה יותר ויותר מודאגת ומודגשת.להלן סקירה קצרה של צנרת גז בטוהר גבוה מבחירת החומרof בנייה, כמו גם קבלה וניהול יומיומי.
סוגי גזים נפוצים
סיווג גזים נפוצים בתעשיית האלקטרוניקה:
גזים נפוצים（גז בתפזורת）: מימן (H2), חנקן (N2), חמצן (O2), ארגון (א2), וכו.
גזים מיוחדיםהם SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,שיתוף,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… וכו.
סוגי הגזים המיוחדים יכולים בדרך כלל להיות מסווגים כמאכליםגַז, רעילגַז, דליקגַז, דליקגַז, נרפהגַז, וכו '. הגזים המוליכים למחצה הנפוצים מסווגים בדרך כלל כדלקמן.
(i) מאכל/רעילגַז: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…וכו.
(ii) דליקותגַז: ח2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, ב2H6, CH2F2,CH3F, CO... וכו'.
(iii) דליקותגַז: O2, Cl2, נ2או, NF3… וכו.
(iv) אינרטיגַז: נ2, CF4, ג2F6, ג4F8,SF6, שיתוף2, Ne, Kr, He… וכו'.
גזים מוליכים למחצה רבים מזיקים לגוף האדם.בפרט, חלק מהגזים הללו, כגון SiH4 בעירה ספונטנית, כל עוד דליפה תגיב באלימות עם החמצן באוויר ותתחיל לבעור;ואש3רעיל מאוד, כל דליפה קלה עלולה לגרום לסכנת חיי אדם, זה בגלל הסכנות הברורות הללו, ולכן הדרישות לבטיחות תכנון המערכת הן גבוהות במיוחד.
היקף היישום של גזים
כחומר גלם בסיסי חשוב של התעשייה המודרנית, מוצרי גז נמצאים בשימוש נרחב, ומספר רב של גזים נפוצים או גזים מיוחדים משמשים במטלורגיה, פלדה, נפט, תעשייה כימית, מכונות, אלקטרוניקה, זכוכית, קרמיקה, חומרי בניין, בנייה , עיבוד מזון, רפואה ומגזרי רפואה.ליישום הגז יש השפעה חשובה על הטכנולוגיה העילית של תחומים אלה בפרט, והוא חומר הגלם גז או גז תהליך חיוני שלו.רק עם הצרכים והקידום של מגזרי תעשייה חדשים שונים ומדע וטכנולוגיה מודרניים, ניתן לפתח את מוצרי תעשיית הגז בצעדי ענק מבחינת מגוון, איכות וכמות.
יישום גז בתעשיית המיקרואלקטרוניקה והמוליכים למחצה
השימוש בגז תמיד שיחק תפקיד חשוב בתהליך המוליכים למחצה, במיוחד בתהליך המוליכים למחצה נעשה שימוש נרחב בתעשיות שונות, החל מה-ULSI המסורתי, TFT-LCD ועד לתעשיית המיקרו-אלקטרו-מכנית (MEMS) הנוכחית, כל אלה. המשתמשים במה שנקרא תהליך מוליכים למחצה כתהליך ייצור של מוצרים.לטוהר הגז יש השפעה מכרעת על ביצועי הרכיבים ותפוקות המוצר, ובטיחות אספקת הגז קשורה לבריאות הצוות ולבטיחות פעילות המפעל.
המשמעות של צנרת בטוהר גבוה בהובלת גז בטוהר גבוה
בתהליך התכה והכנת חומר נירוסטה, ניתן לספוג כ-200 גרם גז לטון.לאחר עיבוד הנירוסטה, לא רק פני השטח שלה דביקים עם מזהמים שונים, אלא גם בסריג המתכת שלו גם ספג כמות מסוימת של גז.כאשר יש זרימת אוויר דרך הצינור, המתכת סופגת חלק זה של הגז תיכנס מחדש לזרימת האוויר, תזהם את הגז הטהור.כאשר זרימת האוויר בצינור היא זרימה בלתי רציפה, הצינור סופח את הגז בלחץ, וכאשר זרימת האוויר מפסיקה לעבור, הגז שנספג בצינור יוצר ירידת לחץ לפתרון, והגז המומס נכנס גם לגז הטהור בצינור בתור זיהומים.במקביל, הספיחה והרזולוציה חוזרים על עצמם, כך שהמתכת על המשטח הפנימי של הצינור מייצרת גם כמות מסוימת של אבקה, וחלקיקי אבק מתכת זו מזהמים גם את הגז הטהור שבתוך הצינור.מאפיין זה של הצינור חיוני כדי להבטיח את טוהר הגז המועבר, אשר דורש לא רק חלקות גבוהה מאוד של פני השטח הפנימיים של הצינור, אלא גם עמידות בפני שחיקה גבוהה.
כאשר נעשה שימוש בגז בעל ביצועים קורוזיביים חזקים, יש להשתמש בצינורות נירוסטה עמידים בפני קורוזיה לצנרת.אחרת, הצינור יפיק כתמי קורוזיה על פני השטח הפנימיים עקב קורוזיה, ובמקרים חמורים, יהיה שטח גדול של הפשטת מתכת או אפילו ניקוב, שיזהם את הגז הטהור שיופץ.
חיבור של צינורות הולכה והפצה של גז בטוהר גבוה ובניקיון גבוה בקצבי זרימה גדולים.
באופן עקרוני, כולם מרותכים, והצינורות המשמשים נדרשים ללא שינוי בארגון בעת יישום הריתוך.חומרים בעלי תכולת פחמן גבוהה מדי כפופים לחדירות האוויר של החלקים המרותכים בעת הריתוך, מה שגורם לחדירה הדדית של גזים בתוך ומחוץ לצינור והורס את הטוהר, היובש והניקיון של הגז המועבר, וכתוצאה מכך אובדן של גזים. את כל המאמצים שלנו.
לסיכום, עבור צינורות גז בטוהר גבוה וגז מיוחד, יש צורך להשתמש בטיפול מיוחד של צינור נירוסטה בטוהר גבוה, כדי ליצור מערכת צינורות בטוהר גבוה (כולל צינורות, אביזרים, שסתומים, VMB, VMP) חלוקת גז בטוהר גבוה תופסת משימה חיונית.
תפיסה כללית של טכנולוגיה נקייה לצינורות הולכה והפצה
הולכת גוף גז טהורה ונקייה במיוחד עם צנרת פירושה שיש דרישות מסוימות או בקרות עבור שלושה היבטים של הגז שיועברו.
טוהר הגז: תכולת אטמוספירת הטומאה ב-gGas טוהר: תכולת אטמוספירת הטומאה בגז, מתבטאת בדרך כלל כאחוז מטהר הגז, כגון 99.9999%, מבוטא גם כיחס הנפח של תכולת אטמוספירת הטומאה ppm, ppb, ppt.
יובש: כמות הלחות עקבות בגז, או הכמות הנקראת רטיבות, המתבטאת בדרך כלל במונחים של נקודת טל, כגון נקודת טל של לחץ אטמוספרי -70.ג.
ניקיון: מספר החלקיקים המזהמים הכלולים בגז, גודל החלקיקים של מיקרומטר, כמה חלקיקים/M3 לבטא, עבור אוויר דחוס, מתבטא בדרך כלל גם במונחים של כמה מ"ג/מ"ק של שאריות מוצקות בלתי נמנעות, המכסה את תכולת השמן .
סיווג גודל מזהמים: חלקיקי מזהמים, מתייחס בעיקר לניקוי צינורות, בלאי, קורוזיה שנוצרת על ידי חלקיקי מתכת, חלקיקי פיח אטמוספריים, כמו גם מיקרואורגניזמים, פאגים וטיפות עיבוי גז המכילות לחות וכו', בהתאם לגודל גודל החלקיקים שלו. מחולק ל
א) חלקיקים גדולים - גודל חלקיקים מעל 5μm
ב) חלקיק – קוטר חומר בין 0.1μm-5μm
ג) חלקיקי אולטרה-מיקרו – גודל חלקיקים פחות מ-0.1 מיקרומטר.
על מנת לשפר את היישום של טכנולוגיה זו, כדי להיות מסוגל להבין תפיסתית של גודל חלקיקים ויחידות מיקרומטר, מסופקת סט של מצב חלקיקים ספציפי לעיון
להלן השוואה של חלקיקים ספציפיים
| שם / גודל חלקיק (מיקרומטר) | שם / גודל חלקיק (מיקרומטר) | שם/גודל חלקיקים (מיקרומטר) |
| וירוס 0.003-0.0 | אירוסול 0.03-1 | מיקרוטיפת אירוסולית 1-12 |
| דלק גרעיני 0.01-0.1 | צבע 0.1-6 | אפר טוס 1-200 |
| פחמן שחור 0.01-0.3 | אבקת חלב 0.1-10 | הדברה 5-10 |
| שרף 0.01-1 | חיידקים 0.3-30 | אבק מלט 5-100 |
| עשן סיגריות 0.01-1 | אבק חול 0.5-5 | אבקה 10-15 |
| סיליקון 0.02-0.1 | הדברה 0.5-10 | שיער אדם 50-120 |
| מלח מגובש 0.03-0.5 | אבק גופרית מרוכז 1-11 | חול ים 100-1200 |
זמן פרסום: 14 ביוני 2022