טכנולוגיית צנרת גז טוהר גבוהה היא חלק חשוב ממערכת אספקת הגזים הגבוהים, שהיא טכנולוגיית המפתח למסירת הגז הנדרש לטוניון גבוה עד כדי שימוש ועדיין לשמור על האיכות המוסמכת; טכנולוגיית צנרת גז טוהר גבוהה כוללת את התכנון הנכון של המערכת, בחירת אביזרים ואביזרים, בנייה והתקנה ובדיקה. בשנים האחרונות, הדרישות הקפדניות יותר ויותר לגבי טוהר ותכולת הטומאה של גזים בעלי טוהר גבוה בייצור מוצרי מיקרו-אלקטרוניקה המיוצגים על ידי מעגלים משולבים בקנה מידה גדול הפכו את טכנולוגיית הצנרת של גזים טוהרים יותר ויותר לדאגה. להלן סקירה קצרה של צנרת גז טוהר גבוה מבחירה בחומריםof בנייה, כמו גם קבלה וניהול יומיומי.
סוגי גזים נפוצים
סיווג גזים נפוצים בענף האלקטרוניקה：
גזים נפוצים（גז בתפזורת）: מימן (ח2), חנקן (n2), חמצן (o2), ארגון (א2) וכו '
גזים מיוחדיםהם SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,Sif4 ,CLF3 ,מְשׁוּתָף,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… וכו '
בדרך כלל ניתן לסווג את סוגי הגזים המיוחדים כמתאםגַז, רעילגַז, דליקגַז, דליקגַז, אינרטיגַזוכו '. גזי המוליכים למחצה הנפוצים בדרך כלל מסווגים כדלקמן.
(i) מאכל / רעילגַז: HCl, BF3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, Nh3, Ph3, Cl2, Bcl3…וכו.
(ii) דליקותגַז: ח2, ח '4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, ב2H6, CH2F2,ח '3F, CO ... וכו '.
(iii) דליקהגַז: O2, Cl2, N2O, nf3... וכו '
(iv) אינרטיגַז: N2, CF4, ג2F6, ג4F8,Sf6, שותף2, NE, KR, הוא ... וכו '.
גזי מוליכים למחצה רבים מזיקים לגוף האדם. בפרט, חלק מהגזים הללו, כמו SIH4 בעירה ספונטנית, כל עוד דליפה תגיב באלימות עם החמצן באוויר ותתחיל לשרוף; ואפר3רעיל מאוד, כל דליפה קלה עלולה לגרום לסיכון לחיי אדם, זה בגלל הסכנות הברורות הללו, ולכן הדרישות לבטיחות תכנון המערכת גבוהות במיוחד.
היקף היישום של גזים
כחומר גלם בסיסי חשוב של התעשייה המודרנית, מוצרי גז נמצאים בשימוש נרחב, ומספר גדול של גזים או גזים מיוחדים משמשים במתכת, פלדה, נפט, תעשייה כימית, מכונות, אלקטרוניקה, זכוכית, קרמיקה, חומרי בניין, בנייה, עיבוד מזון, רפואה ומגזרים רפואיים. ליישום הגז יש השפעה חשובה על הטכנולוגיה הגבוהה של שדות אלה בפרט, והיא גז חומרי הגלם הכרחיים או גז התהליך שלו. רק עם צרכים וקידום מגזרים תעשייתיים חדשים ומדע וטכנולוגיה מודרניים, ניתן לפתח את מוצרי תעשיית הגז על ידי קפיצות וגבולות מבחינת המגוון, האיכות והכמות.
יישום גז בתעשיית מיקרואלקטרוניקה ומוליכים למחצה
השימוש בגז מילא תמיד תפקיד חשוב בתהליך המוליכים למחצה, ובמיוחד בתהליך המוליכים למחצה נעשה שימוש נרחב בענפים שונים, החל מה- ULSI המסורתי, TFT-LCD ועד ענף המיקרו-אלקטרו-מכני (MEMS) הנוכחי, שכולם משתמשים בתהליך מוליך הסמי-מוליך כתהליך הייצור של מוצרים. לטוהר הגז יש השפעה מכרעת על ביצועי הרכיבים ותשואות המוצר, ובטיחות אספקת הגז קשורה לבריאות כוח האדם ולבטיחות פעולות המפעל.
המשמעות של צנרת טוהר גבוהה בהובלת גז טוהר
בתהליך התכה של נירוסטה וייצור חומר, ניתן לספוג כ -200 גרם גז לטון. לאחר עיבוד נירוסטה, לא רק פני השטח שלו דביקים עם מזהמים שונים, אלא גם בסריג המתכת שלו ספגו גם כמות מסוימת של גז. כשיש זרימת אוויר דרך הצינור, המתכת סופגת חלק זה של הגז יתקן מחדש את זרימת האוויר, ותזהם את הגז הטהור. כאשר זרימת האוויר בצינור היא זרימה רציפה, הצינור סופג את הגז בלחץ, וכאשר זרימת האוויר מפסיקה לעבור, הגז הנסופג על ידי הצינור יוצר ירידת לחץ לפיתרון, והגז שנפתר נכנס גם לגז הטהור בצינור כזומים. יחד עם זאת, הספיחה והרזולוציה חוזרים על עצמם, כך שהמתכת על פני השטח הפנימיים של הצינור מייצרת גם כמות מסוימת של אבקה, וגם חלקיקי אבק מתכת זה מזהמים את הגז הטהור בתוך הצינור. מאפיין זה של הצינור חיוני בכדי להבטיח את טוהר הגז המועבר, הדורש לא רק חלקות גבוהה מאוד של המשטח הפנימי של הצינור, אלא גם עמידות בפני בלאי גבוה.
כאשר משתמשים בגז עם ביצועים מאכלים חזקים, יש להשתמש בצינורות נירוסטה עמידים בפני קורוזיה לצנרת. אחרת, הצינור יפיק כתמי קורוזיה על המשטח הפנימי כתוצאה מקורוזיה, ובמקרים רציניים יהיה שטח גדול של הפשטת מתכת או אפילו ניקוב, אשר יזהם את הגז הטהור שיופץ.
חיבור של צינורות העברת גז והפצה בעלי טווח גבוה וניקוי גבוה של צינורות גז והפצה של קצב זרימה גדולים.
באופן עקרוני, כולם מרותכים, והצינורות המשמשים נדרשים לא לשינוי בארגון בעת הפעלת ריתוך. חומרים בעלי תכולת פחמן גבוהה מדי כפופים לחדירות האוויר של החלקים המרותכים בעת ריתוך, מה שהופך את החדירה ההדדית של גזים בתוך הצינור ומחוצה לו ומשמידה את הטוהר, היובש והניקיון של הגז המועבר, וכתוצאה מכך אובדן כל המאמצים שלנו.
לסיכום, עבור צינור גז טוהר וצינור העברת גז מיוחד, יש צורך להשתמש בטיפול מיוחד בצינור נירוסטה בעל טוהר גבוה, לייצור מערכת צינורות טוהר גבוהה (כולל צינורות, אביזרים, שסתומים, VMB, VMP) בחלוקת גז טוהר תופסת משימה חיונית.
מושג כללי של טכנולוגיה נקייה לצינורות העברה והפצה
העברת גוף גז טהור ונקי מאוד עם צנרת פירושה שיש דרישות או בקרות מסוימות לשלושה היבטים של הגז שיועברו.
טוהר גז: תוכן אטמוספירת הטומאה בטוהר ה- GGAS: תוכן אטמוספירת הטומאה בגז, המתבטא בדרך כלל כאחוז מטוהר הגז, כמו 99.9999%, המתבטא גם ביחס הנפח של תכולת אטמוספירה טומפילית PPM, PPB, PPT.
יובש: כמות לחות העקבות בגז, או הכמות הנקראת רטיבות, שבאה לידי ביטוי בדרך כלל במונחים של נקודת הטל, כמו לחץ אטמוספרי נקודת טל -70. ג
ניקיון: מספר חלקיקי המזהמים הכלולים בגז, בגודל החלקיקים של מיקרומטר, כמה חלקיקים/M3 לבטא, לאוויר דחוס, שבא לידי ביטוי בדרך כלל גם במונחים של כמה מ"ג/m3 של שאריות מוצקות בלתי נמנעות, המכסה את תכולת השמן.
סיווג גודל מזהמים: חלקיקי מזהמים, מתייחסים בעיקר לשריצת צנרת, בלאי, קורוזיה הנוצרים על ידי חלקיקי מתכת, חלקיקי פיח אטמוספרי, כמו גם מיקרואורגניזמים, פאגים וטיפות עיבוי גזים המכילות לחות וכו ', על פי גודל גודל החלקיקים שלו, מחולקים לכיוון חלקיקים לכיוון.
א) חלקיקים גדולים - גודל החלקיקים מעל 5 מיקרומטר
ב) חלקיק-קוטר חומר בין 0.1 מיקרומטר-מיקרומטר
ג) חלקיקי מיקרו אולטרה-גודל החלקיקים פחות מ- 0.1 מיקרומטר.
על מנת לשפר את היישום של טכנולוגיה זו, כדי להיות מסוגל להבנה תפיסתית של גודל החלקיקים ויחידות מיקרומטר, מסופקת קבוצה של מצב חלקיקים ספציפיים להתייחסות
להלן השוואה בין חלקיקים ספציפיים
| שם /גודל חלקיקים (מיקרומטר) | שם /גודל חלקיקים (מיקרומטר) | גודל שם/ חלקיקים (מיקרומטר) |
| וירוס 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet Aerosolized 1-12 |
| דלק גרעיני 0.01-0.1 | צבע 0.1-6 | אפר זבוב 1-200 |
| פחמן שחור 0.01-0.3 | אבקת חלב 0.1-10 | הדברה 5-10 |
| שרף 0.01-1 | חיידקים 0.3-30 | אבק מלט 5-100 |
| עשן סיגריות 0.01-1 | אבק חול 0.5-5 | אבקה 10-15 |
| סיליקון 0.02-0.1 | הדברה 0.5-10 | שיער אנושי 50-120 |
| מלח מגובש 0.03-0.5 | אבק גופרית מרוכז 1-11 | חול ים 100-1200 |
זמן ההודעה: יוני -14-2022