תהליך הייצור של גזים מיוחדים אלקטרוניים כולל מספר תהליכים כמו סינתזה, טיהור, מילוי, ניתוח ובדיקה, ערבוב ופרופורציות. על מנת לעמוד בדרישות ייצור המוליכים למחצה במורד הזרם לתוכן טוהר וטומאה, תהליך הטיהור חשוב מאוד. תלוי בהרכב הגז הסינתזה במעלה הזרם או גז גולמי, מבוצע זיקוק בטמפרטורה נמוכה או טיהור רב-שלבי.
דרישות ניקיון גבוה
ניתן לחלק את תהליך ההכנה של גזים מיוחדים אלקטרוניים לשני בלוקים עיקריים של הכנת וטיהור סינתזה במעלה הזרם, השייכים לתהליך הייצור הכימי. גודל צינור הייצור גדול, ואין דרישה מיוחדת לרמת ניקיון. לאחר הטיהור במורד הזרם, המוצר מלא בגז ומעורב להכנה. צינור הייצור קטן ובעל דרישות ברמת הניקיון. עליו לעמוד במפרט הסטנדרטי של תהליך ייצור המוליכים למחצה.
דרישות איטום גבוהות
בשל פעילותם הכימית, גזים מיוחדים אלקטרוניים מציבים גם דרישות גבוהות לחומרים ואיטום מערכת תהליכי הייצור. ממש כמו הדרישות של ייצור מוליכים למחצה, היא מונעת דליפת ממשק הנגרמת כתוצאה מהכנסת זיהומים או קורוזיה של גזים מיוחדים. ניתן להשתמש במערכת גם כדי למנוע הכנסת זיהומים או דליפת הממשק הנגרמת כתוצאה מקורוזיה של גזים מיוחדים.
דרישות יציבות באיכות גבוהה
איכות הגזים המיוחדים האלקטרוניים כוללת מספר אינדיקטורים כמו תכולת טוהר ותכולת טומאה. כל שינוי במדדים ישפיע על תוצאות תהליך ייצור המוליכים למחצה במורד הזרם. לכן, על מנת להבטיח את עקביותם של מחווני מוצרי הגז האלקטרוניים המיוחדים, גם מערכת תהליכי ההכנה לשליטה ביציבות האינדיקטורים חשובה מאוד.
בשל הפעילות הכימית והדרישות האיכותיות של EGP, מערכת הייצור להכנת EGP, במיוחד מערכת הטיהור במורד הזרם, חייבת לעמוד בדרישות של חומרי טוהר גבוהים, איטום גבוה, ניקיון גבוה ועקביות באיכות גבוהה, ובניית רכיבים מהונדסים חייבים לעמוד בסטנדרטים של ענף ייצור המוליכים למחצה.
מה שאנו מכנים בדרך כלל "טוהר גבוה" הוא תיאורטית ההגדרה של טוהר חומר, כגון גזי טוהר גבוהים, כימיקלים טוהרים גבוהים וכו 'מערכות תהליכים או רכיבי מערכת תהליכים המיושמים על חומרים טפחים גבוהים, מכונים גם הם פיצויים גבוהים, כגון מערכות פוטות גבוהות וערכים בעלי טווח גבוה. מערכות הכנת גז מיוחד אלקטרוני דורשות אביזרי יישום טוהר גבוה, שסתומים ורכיבי נוזלים אחרים, IE, אביזרי שסתומים המעובדים עם חומרי טוהר גבוהים ותהליכי ייצור נקיים, ומובנים לטיהור וניקוי קלים. עם ביצועי איטום גבוהים. רכיבי נוזלים אלה נועדו לעמוד בנתיב זרימת התהליך של היישום, תוך שימוש בדרישות ההנדסה והבנייה של ענף המוליכים למחצה.
חיבורי צנרת טוהר גבוהים
חיבורי אטם מתכת של VCR חיבורי חותם פנים ומדריך אוטומטי חיבורי ריתוך ישרך נמצאים בשימוש נרחב בדרישות תהליכי טוהר המערכת התובעניים בגלל היכולת לעמוד הן במעבר חלק של נתיב הזרימה בחיבור, ללא קיפאון וביצועי איטום גבוהים. חיבורי VCR יוצרים אטם משטח צר על ידי החדרת אטם מתכת רך יחסית. ביצועי חיבור ואיטום ניתנים לחזרה ועקבית מובטחים בכל פעם שהאטם המעוות מוסר ומוחלף.
צינורות מרותכים באמצעות מערכת ריתוך מסלולית אוטומטית. הצינור מוגן על ידי גז טוהר גבוה מבפנים ומבחוץ. האלקטרודה טונגסטן מסתובבת לאורך המסלול לריתוך באיכות גבוהה. ריתוך מסלול אוטומטי לחלוטין ממיס את הצינור מבלי להציג חומרים אחרים, השגת ריתוך באיכות גבוהה על ידי שליטה שוב ושוב על צינור עם קירות דקים קשה להשיג באמצעות ריתוך ידני.
חיבור חותם אטם מתכת
חיבור ריתוך קת אורביטלי אוטומטי של צינורות
שסתומי טוהר גבוהים
הפעילות הכימית של גזים מיוחדים אלקטרוניים דליקים, נפיצים, מאכלים ורעילים מציבה דרישות גבוהות לאיטום השסתום. על מנת לשפר את אמינות האיטום, הדרישה של שסתומים ללא אריזה למניעת דליפה חיצונית, כלומר, החלפת פעולת גזע השסתום וגוף השסתום בין החותם באמצעות מפוח מתכת או סרעפת מתכת, על מנת לבטל דליפה עקב שחיקה ועיצוב אריזות אריזת אריזות. שסתומים אטומים ומפוחיים אטומים סרעפת משמשים בדרך כלל במערכות תהליכים ליישומי טוני-טווח בגלל האמינות הגדולה יותר של החותמות והחלפת הניקוי והטיהור הקלים יותר של פנימי השסתום.
שסתומים אטומים מפוח הם בניית שסתומי מחט ללא אריזה המאפשרת ויסות פתיחה וזרימה איטית. משמש למילוי גז מיוחד אלקטרוני בדרישות זרימת בטיחות או בבקבוקי מקור מקדים עם דרישות בטיחות גבוהות. חותמות קצה הגזע המתכת-מתכת מאפשרות טמפרטורות הפעלה נמוכות במיוחד ומשמשות לנזילות קריוגניות של גזים מיוחדים אלקטרוניים במיכלי מוצר מוגמרים לאחר זיקוק קריוגני לצנרת.
שסתום חותם סרעפת נטולת מעיין הוא שסתום Snap-Open 1/4 ″ לשימוש כשסתום מיתוג מבוקר אוטומטי בצנרת משלוח. הם משמשים לרוב ביישומי לחץ גבוה במיוחד, יישומים בעלי טוני-טווחים בגלל נתיב הזרימה הפנימי הפשוט שלהם, נפח פנימי קטן וקלות הטיהור והחלפה.
שסתומים אטומים של דיאפרגמה הנסגרים דרך קצה הגזע יכולים להיפתח באטיות ולהשתמש בהם בלחצי הפעלה גבוהים יותר מאשר שסתומים אטומים סרעפת שאינם קפיצים. הם נמצאים בשימוש נרחב על מילוי גז אלקטרוני אלקטרוני או בקבוקי מקור מבשר.
שסתום מפוח החותם המשני יכול לשמש לא רק במערכות תהליכי טמפרטורה נמוכות במיוחד ב -200 מעלות, אלא גם מונע דליפה של אמצעי התקשורת המסוכנים לאטמוספרה. משמש בדרך כלל לגזים מיוחדים אלקטרוניים מסוכנים מאוד, כמו מערכת מילוי סילאן.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, עם ניסיון של למעלה מעשר שנים באספקת גזים תעשייתיים ומומחיות, חומרים, מערכות אספקת גז והנדסת גז למוליכים למחצה, LED, DRAM, TFT-LCD, אנו יכולים לספק לך את החומרים הדרושים כדי לדחוף את המוצרים שלך לחזית הענף. אנו לא יכולים רק לספק מגוון רחב של שסתומים ואביזרים לגזים מיוחדים אלקטרוניים מוליכים למחצה, אלא אנו יכולים גם לתכנן התקנת צנרת גז וציוד עבור הלקוחות שלנו. אם יש לך צרכים באזור זה, אנא צור איתנו קשר בטלפון 27919860.
זמן ההודעה: 19-2023 jul