ככל ששוק המוליכים למחצה גדל, הסטנדרטים לטוהר ודיוק הופכים מחמירים יותר. אחד הגורמים הקובעים באיכות ייצור המוליכים למחצה הוא הגזים המשמשים בתהליך. גזים אלה ממלאים תפקידים רבים בתהליך הייצור, כולל:
בקרת תהליכי דיוק
מניעת זיהום
שיפור רכוש מטלורגי
כדי לבצע תפקידים אלה ביעילות, מערכת אספקת הגז והפצה חייבת להיות יעילה. יש לתמוך בתכנון מערכות טיפול בגז המשמשות בייצור מוליכים למחצה על ידי רכיבים חזקים ומכלולים בהתאמה אישית כדי להבטיח ייצור אמין ואיכותי של מוליכים למחצה.
גזים המשמשים בייצור מוליכים למחצה
תהליך ייצור המוליכים למחצה מחייב שימוש בגזים שונים בשלבים שונים של התהליך.
בעוד שניתן להשתמש בגזים נפוצים כמו חנקן, מימן, ארגון והליום בצורתם הטהורה, תהליכים מסוימים עשויים לדרוש תערובות מיוחדות. סילאנים או סילוקסנים, הקספלואורידים, הלידים ופחמימנים הם כמה מהגזים המתמחים המשמשים בייצור מוליכים למחצה. רבים מהגזים הללו יכולים להיות מסוכנים או מגיבים מאוד, ויוצרים אתגרים בבחירה ובעיצוב של רכיבים למערכות גז.
להלן כמה דוגמאות:
\ מימן והליום יכולים בקלות לדלוף מערכות צנרת ומתאימות בגלל גודלם האטומי והמשקל הקטן שלהם.
\ סילאנים הם דליקים מאוד ויכולים לסלק באופן ספונטני (אוטומטי) באוויר.
\ חנקן דיפלואוריד המשמש בשלבי התצהיר, תחריט וניקוי תא הופך לגז חממה חזק כאשר הוא דולף לסביבה.
\ מימן פלואוריד (תחריט גז) מאכל מאוד לצנרת מתכתית.
\ Trimethylgallium ואמוניה יכולים להיות קשים לטפל בהם - תנודות קטנות בטמפרטורה ודרישות הלחץ שלהם יכולות להשפיע על תהליך התצהיר.
בקרה על תנאי תהליך כדי למזער את ההשפעות השליליות של גזים אלה חייבת להיות בראש סדר העדיפויות במהלך תכנון המערכת. חשוב לא פחות להשתמש ברכיבים האיכותיים ביותר כמו שסתומי סרעפת AFK במהלך תהליך הבנייה.
התמודדות עם אתגרי תכנון מערכות
גזים בדרגת מוליכים למחצה הם ברוב המקרים של טוהר גבוה ומספקים תנאים אינרטיים או משפרים תגובות בשלבים שונים של תהליך הייצור, כמו תחריט וגזי תצהיר. דליפה או זיהום של גזים כאלה יכולים להשפיע לרעה. לפיכך, זה קריטי שרכיבי המערכת נהגו להיות אטומים הרמטית ועמידים בפני קורוזיה, כמו גם בעלי גימור פני השטח החלק (ליטוש אלקטרוליטי) כדי להבטיח שאין אפשרות לזיהום וניתן לשמור על רמת ניקיון גבוהה במיוחד.
בנוסף, חלק מהגזים הללו ניתנים לחימום או קורר כדי להשיג תנאי תהליך רצויים. רכיבים מבודדים היטב מבטיחים בקרת טמפרטורה, שהיא קריטית לביצועים יעילים של המוצר הסופי.
מכניסת המקור לנקודת השימוש, מגוון הרכיבים הרחב של AFK תומך בטוהר, טמפרטורה, לחץ ובקרת זרימה גבוהה במיוחד הנדרשים בחדרי נקיון מוליכים למחצה ותאי ואקום.
מערכות מעוצבות עם רכיבים איכותיים ב- Fabs מוליכים למחצה
תפקידם של רכיבים איכותיים ואופטימיזציה לעיצוב הוא קריטי לבקרה מדויקת וייצור בטוח של מוליכים למחצה. הרכיבים המשמשים צריכים להיות חזקים ונטולי דליפות כדי להתאים לתנאי התהליך המשתנים הנדרשים בשלבים שונים של ייצור. שסתומים באיכות גבוהה, אביזרים, רגולטורים, צנרת וסוגריים איטום מאופיינים בתכונות הבאות:
טוהר גבוה במיוחד
כלבי ים נטולי דליפה
בידוד מבוקר בטמפרטורה
בקרת לחץ
עמידות בפני קורוזיה
טיפול בליטוש אלקטרוליטי
זמן ההודעה: אוקטובר 09-2023