גזי טוהר גבוהים במיוחד הם חיוניים בכל שרשרת האספקה של המוליכים למחצה. למעשה, עבור Fab טיפוסי, גזים טוהרים הם ההוצאה החומרית הגדולה ביותר לאחר הסיליקון עצמו. בעקבות מחסור השבבים העולמי, התעשייה מתרחבת מהר מתמיד - והביקוש לגזי טוהר גבוה הולך וגובר.
הגזים בתפזורת הנפוצים ביותר בייצור מוליכים למחצה הם חנקן, הליום, מימן וארגון.
Nitrogen
חנקן מהווה 78% מהאטמוספירה שלנו והוא בשפע במיוחד. זה במקרה גם אינרטי כימית ולא מוליך. כתוצאה מכך, חנקן מצא את דרכו למספר תעשיות כגז אינרטי חסכוני.
תעשיית המוליכים למחצה היא צרכנית מרכזית של חנקן. מפעל לייצור מוליכים למחצה מודרני צפוי להשתמש עד 50,000 מטרים של חנקן לשעה. בייצור מוליכים למחצה, חנקן משמש כמטרה כללית המבצעת גז, ומגנה על פרוסת סיליקון רגישים מפני חמצן תגובתי ולחות באוויר.
הֶלִיוּם
הליום הוא גז אינרטי. המשמעות היא שכמו חנקן, הליום אינרטי כימית - אך יש לו גם את היתרון הנוסף של מוליכות תרמית גבוהה. זה שימושי במיוחד בייצור מוליכים למחצה, מה שמאפשר לו לבצע ביעילות חום מתהליכי אנרגיה גבוהה ולעזור בהגנה על נזק תרמי ותגובות כימיות לא רצויות.
מֵימָן
מימן משמש בהרחבה לאורך כל תהליך ייצור האלקטרוניקה, וייצור מוליכים למחצה אינו יוצא מן הכלל. בפרט, מימן משמש ל:
חישול: בדרך כלל מחממים פליקי סיליקון לטמפרטורות גבוהות ומתקררים לאט לתיקון (ביטול) את מבנה הגביש. מימן משמש להעברת חום באופן שווה לרקיע ולסייע בבניית מבנה הגביש מחדש.
אפיטקסיה: מימן טוהר גבוה במיוחד משמש כחומר צמצום בתצהיר האפיטקסיאלי של חומרים מוליכים למחצה כמו סיליקון וגרמניום.
תצהיר: ניתן לסמן מימן לסרטי סיליקון כדי להפוך את המבנה האטומי שלהם ליותר לא מופרע, ועוזר להגביר את ההתנגדות.
ניקוי פלזמה: פלזמת מימן יעילה במיוחד להסרת זיהום פח ממקורות אור המשמשים בליטוגרפיה של UV.
אַרגוֹן
ארגון הוא עוד גז אצילי, כך שהוא מציג את אותה תגובתיות נמוכה כמו חנקן והליום. עם זאת, אנרגיית היינון הנמוכה של ארגון הופכת אותה לשימושית ביישומי מוליכים למחצה. בגלל קלות היינון היחסית שלו, ארגון משמש בדרך כלל כגז הפלזמה העיקרי לתגובות תחריט ותיקות בייצור מוליכים למחצה. בנוסף לכל אלה, ארגון משמש גם בלייזרי אקסימרים לליטוגרפיה של UV.
מדוע טוהר חשוב
בדרך כלל, ההתקדמות בטכנולוגיית מוליכים למחצה הושגה באמצעות קנה מידה בגודל, והדור החדש של טכנולוגיית מוליכים למחצה מאופיין בגדלי תכונות קטנים יותר. זה מניב יתרונות מרובים: טרנזיסטורים נוספים בנפח נתון, זרמים משופרים, צריכת חשמל נמוכה יותר ומיתוג מהיר יותר.
עם זאת, ככל שהגודל הקריטי יורד, מכשירי מוליכים למחצה מתוחכמים יותר ויותר. בעולם בו עניין של אטומים בודדים חשוב, ספי סובלנות לתקלות הם מאוד הדוקים. כתוצאה מכך, תהליכי מוליכים למחצה מודרניים דורשים גזי תהליכים עם הטוהר הגבוה ביותר האפשרי.
Wofly הוא מיזם היי-טק המתמחה בהנדסת מערכות יישומי גז: מערכת גז אלקטרונית מיוחדת, מערכת מעגלי גז מעבדה, מערכת אספקת גז ריכוזית תעשייתית, מערכת גז בתפזורת (נוזל), גז טוהר גבוה ומערכת צנרת משנית של גזים, מערכת משלוח כימית, מערכת מים טהורה, כדי לספק מערך מלא של השירותים ושירותים טכניים ומוצרי טיליות של תכנון טכני, תכנון, תכנון, תכנון, אתר הפרויקט, בדיקות המערכת הכוללות, תחזוקה ומוצרים תומכים אחרים באופן משולב.
זמן הודעה: JUL-11-2023