השימוש בגזים בתעשיית המוליכים למחצה מתוארך לתחילת שנות החמישים עד 1960. במהלך תהליך ייצור המוליכים למחצה, גזים משמשים בעיקר לניקוי ולהגן על חומרים מוליכים למחצה כדי להבטיח את טוהרם ואיכותם. בין הגזים הנפוצים ביותר הם חנקן ומימן.
ככל שהתפתחה טכנולוגיית המוליכים למחצה ותהליכי הייצור המשיכו להשתפר, הביקוש לגזים גדל. בשנת 1970, פיתוח נוסף של טכנולוגיית ייצור מוליכים למחצה, יישום גזים בתהליכי מפתח כמו תחריט והפקת סרטים דקים עלו בהדרגה, וגזי פלואוריד (למשל SF6) וחמצן הפכו לרוב גזי תחריט ותמציות. 1980 חלה עלייה נוספת בביקוש לגזים עם פיתוח מעגלים משולבים ועליית הביקוש עבורם. מימן היה בשימוש נרחב בתהליך הייצור, כולל חישול מימן ותצהיר אדי מימן. ומשנת 1990 ועד היום, הביקוש לגזים טוהרים וגזים ספציפיים גדל ככל שהגדלים של מכשירי מוליכים למחצה המשיכו להתכווץ והוכנסו תהליכים חדשים. לדוגמה, יישום של ליטוגרפיה אולטרה סגולה קיצונית (EUV) מחייב שימוש בגזים טוהרים במיוחד כמו חנקן ומימן.
גז מוליכים למחצה ממשיך לגדול עם פיתוח מוצרים קשורים המונעים על ידי יותר ויותר מוצרים נחשפים, ואילו הגז שייך גם למקור הסכנה, כך שהמוצרים המשמשים לדיכאון גז, מוצרי גילוי גז ומונעים של מוצרי דליפת גז הופיעו כמו ווסת לחץ, שסתומי גז, מדידי לחץ גז, גלאי דליפת גז, וכו ', וכמובן שלם
רגולטורי לחץ: רגולטורי לחץ הם מכשירים המשמשים לבקרת לחץ הגז. הם בדרך כלל מורכבים משסתום רגולטור וחיישן לחץ. רגולטורי לחץ לוקחים קלט גז לחץ גבוה ומייצב את הלחץ של גז התפוקה על ידי התאמת השסתום כדי לעמוד בדרישות היישום הספציפיות. רגולטורי לחץ נמצאים בשימוש נרחב בתחומים כמו תעשייה, ייצור ומעבדות, כמו גם בתעשיית המוליכים למחצה, בין היתר, כדי להבטיח את היציבות והבטיחות של אספקת הגז.
שסתומי גז: שסתומי גז משמשים לשליטה על זרימת הגזים ולסגור מעברי גז. בדרך כלל יש להם פונקציית הפעלה/כיבוי הפותחת או סוגרת את זרימת הגז. ישנם סוגים שונים של שסתומי גז, כולל שסתומים ידניים, שסתומים חשמליים ושסתומים פנאומטיים. הם נמצאים בשימוש נרחב במערכות גז כדי לשלוט על הזרימה, הלחץ וקצב הזרימה של הגזים.
מדדי לחץ גז: מדדי לחץ גז משמשים למדידת רמת הלחץ של גז. בדרך כלל הם מותקנים במיקומים קריטיים במערכות גז כדי לפקח על שינויי לחץ ולהבטיח שהם נמצאים בגבולות בטוחים. מדדי לחץ גז נמצאים בשימוש נרחב בתעשייה, ייצור ומעבדות, וגם ענף המוליכים למחצה היה מעורב.
גלאי דליפת גז: גלאי דליפת גז משמשים לגילוי דליפות במערכות גז. הם מזהיםנוכחות של דליפות גז ומושמעת אזעקה כך שניתן לנקוט בפעולה מתוזמנת למניעת תאונות דליפה. גלאי דליפת גז נמצאים בשימוש נרחב ביישומי תעשייה, כימיים, נפט וגז, וגם ענף המוליכים למחצה היה מעורב.
זמן ההודעה: פברואר 20-2024