הכימיקלים והגזים השונים המשמשים בייצור מוליכים למחצה דורשים מערכות נוזלים חזקות לאספקה ללא הפרעה בכל שלב בייצור. מערכות נוזלים אלה חייבות להיות מסוגלות לתמוך בתנאי התהליך הקיצוניים הנדרשים לייצור מוליכים למחצה תוך הקפדה על תהליך נקי, נטול דליפות ומבקר. לפיכך, בחירת רכיבי מערכת הנוזלים היא קריטית בתהליך הייצור של מוליכים למחצה.
בחירת רכיבי מערכת נוזלים באיכות גבוהה היא שם נרדף לעלייה ביעילות הייצור ולהפחתת השבתה של המערכת. ביחס לתהליך ייצור המוליכים למחצה, נדון בתפקיד הקריטי של רכיבי מערכת הנוזלים ובחשיבות אמינותם.
חשיבות של רכיבי מערכת נוזלים בייצור מוליכים למחצה
רכיבי מערכת נוזלים בייצור מוליכים למחצה כוללים מערכות ערבוב כימיות שונות, העברה ובקרה להובלת נוזלים כימיים בבטחה בסביבה מבוקרת. למערכת נוזלים אידיאלית יש:
➢ ערבוב כימי אחיד
➢ בקרת זיהום
➢ טמפרטורה ובקרת לחץ
<אספקה כימית לא מפושטת
רק הרכיבים האיכותיים ביותר יכולים לספק תנאים אידיאליים כאלה במערכת נוזלים מוליכים למחצה. היתרונות של שימוש ברכיבים כאלה כוללים:
מדויק: רכיבים כמו שסתומים, רגולטורים ומשאבות עובדים במקביל כדי להבטיח כי החלק הנכון של הכימיקלים מועבר לתא הייצור. תשומות מדויקות מבטלות את הסיכון לשונות זרימה, המשפרות את איכות המוצר הסופי.
תאימות וניקיון: רכיבי מערכת נוזלים עם קומפוזיציות חומרים התואמות לנוזלי תהליכים מקטינים את הסיכון לזיהום. בנוסף, ההתקנה נטולת הדליפה של רכיבי מערכת נוזלים אלה מפחיתה מזהמים חלקיקים, ומספקת סביבת ייצור נקייה ומבוקרת לתשואות משופרות.
בטיחות: גזים וכימיקלים המשמשים בייצור מוליכים למחצה יכולים להזיק לבריאות האדם. עם זאת, רכיבי מערכת נוזלים שנועדו למנוע דליפות ושפכים יכולים לספק נוזלים אלה ליחידות ייצור באופן בטוח ומבוקר.
יעילות: הבנייה נטולת הדליפות והשליטה המדויקת של רכיבי מערכת נוזלים באיכות גבוהה ממזערת את השבתה התפעולית ודרישות התחזוקה התכופות, ומקדמת ייצור חלק ויעיל כדי לעמוד ביעדי הייצור.
פתרונות רכיבי מערכת נוזלים מיוצרים איכותיים
רכיבי מערכת נוזלים דורשים התקנות באיכות גבוהה כדי לעמוד באתגרים של ייצור מוליכים למחצה. רכיבי מפתח המשפיעים על ה- Fab כוללים:
שסתומים: שסתומים בעלי ביצועים גבוהים, כמו סרעפת, מפוח או שסתומי מחט, מווסתים באופן אידיאלי את זרימת הנוזלים במתקני ייצור. שסתומים עמידים ואיכותיים מספקים את הדיוק והבקרה הדרושים לשיפור היעילות של תהליכי הייצור והטיפול לייצור מוליכים למחצה קריטיים.
אביזרים: אביזרי טווח גבוה למערכות צינורות וצינור ורכיבים קריטיים אחרים מספקים חיבורים אטומים לשיפור הבטיחות והטהרה של רכיבי מערכת הנוזלים.
צינורות: לצורך דרישות ייצור מדויקות, צינורות מבודדים מסייעים בניהול תרמי כך שניתן יהיה לשמור באופן אופטימלי את תנאי התהליך בחדר הייצור. זה חשוב מכיוון שתנודות הטמפרטורה הקלות ביותר עלולות לפגוע בשבבים ולהוביל לפסולת ייצור.
צינורות גמישים: כאשר התנאים מאפשרים, ניתן להשתמש בצינורות גמישים כדי להפחית את מספר האביזרים במכלול מערכת נוזלים. הצינור כפוף להשיג את נתיב הנוזל הרצוי. פחות אביזרים פירושו פחות סיכון לדליפות ונזק כתוצאה מרטט ותנועה.
רגולטורים: הרגולטורים שולטים למעשה בלחץ בכל שלב בתהליך הייצור של המוליכים למחצה. זרימה קבועה ומדויקת משיגה תשואות עקביות ואיכותיות תוך הימנעות מחומרים נוזליים מבוזבזים וחומרים מיוחדים.
פילטרים: חלקיק יחיד יכול להשפיע על ביצועי מוליכים למחצה. השימוש במסנני טוהר גבוה במיוחד מבטל את זיהום החלקיקים וממזער את נזקי השבבים.
ניתן להשיג יעילות של מערכת נוזלים בייצור מוליכים למחצה עם המגוון הרחב של AFK-Lok של שסתומים באיכות גבוהה, אביזרים, רגולטורים, צינורות ומסננים.
זמן ההודעה: אוקטובר 09-2023