ציוד לטיפול בגז זנב יכול להתמודד עם גזים המשמשים בתהליכי תחריט ותהליכי תמצית אדים כימיים בתעשיות המוליכים למחצה, גביש נוזלי ותעשיות אנרגיה סולארית, כולל SIH4, SIH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, וכך.
שיטת טיפול בגז הפליטה
על פי המאפיינים של טיפול בגז הפליטה, ניתן לחלק את הטיפול לארבעה סוגים של טיפול:
1. סוג שטיפת מים (טיפול בגזים מאכלים)
2. סוג מחמצן (התמודדות עם גזים דליקים ורעילים)
3. ספיחה (על פי סוג חומר הספיחה להתמודדות עם גז הפליטה המתאים).
4. סוג בעירה של פלזמה (ניתן לטפל בכל סוגי גזי הפליטה).
לכל סוג של טיפול יתרונות וחסרונות משלו כמו גם היקף היישום שלו. כאשר שיטת הטיפול היא שטיפת מים, הציוד זול ופשוט, ויכול רק להתמודד עם גזים מסיסים במים; טווח היישומים של סוג שטיפת המים החשמליים גבוה יותר מזה של סוג שטיפת המים, אך עלות הפעולה גבוהה; לסוג היבש יעילות טיפול טובה ואינה חלה על זרימת הגז שקל לסתום או לזרום.
ניתן לסווג כימיקלים ותוצרי הלוואי שלהם המשמשים בדרך כלל בתעשיית המוליכים למחצה בהתאם לתכונות הכימיות שלהם וטווחיהם השונים:
1. גזים דליקים כמו SIH4H2 וכו '.
2. גזים רעילים כמו ASH3, PH3 וכו '.
3. גזים מאכלים כמו HF, HCL וכו '.
4. גזי חממה כמו CF4, NF3 וכו '.
מכיוון שארבעת הגזים לעיל מזיקים לסביבה או לגוף האדם, חייבים למנוע את פליטתו הישירה לאטמוספירה, ולכן המפעל הכללי של מוליכים למחצה מותקן במערכת טיפול גדולה ומרכזית של גז פליטה, אך מערכת זו היא רק פליטה של מים, ולכן יישומה מוגבל לגזים המים של המים המים, ואינה יכולה להתמודד עם הגזים המסיסים של חצי התנור של התהליך. לכן יש צורך לבחור ולהתאים את ציוד הטיפול בגז הפליטה המתאים בהתאם למאפייני הגז הנגזרים מכל תהליך על מנת לפתור את בעיית גז הפליטה בצורה קטנה. מכיוון שאזור העבודה נמצא ברובו ממערכת הטיפול המרכזי בגז הפליטה, לעיתים קרובות כתוצאה ממאפייני הגז גורמים להתגבשות או להצטברות אבק בצינור, וכתוצאה מכך סתימת הצינור המובילה לדליפת גז, ובמקרים רציניים, אפילו לגרום לפיצוץ, לא יכול להבטיח כי בטיחות העבודה של צוות האתר. לפיכך, באזור העבודה צריך להגדיר ציוד לטיפול בגז פליטה קטן המתאים למאפייני גז התהליך, על מנת להפחית את גז הפליטה העומד באזור העבודה, כדי להבטיח את בטיחות כוח האדם.
זמן הודעה: אוגוסט -10-2023