1 | לחץ עבודה מקסימלי 20.6 Mpa. |
2 | מקסימוםטמפרטורת עבודה 204 ℃ (סביבת טמפרטורה גבוהה עד 454 ℃, בשלב זה חומר האיטום מוחלף בגרפיט מורחב) |
3 | מערכת סינון חלקיקים, גזים, נוזלים ישימים. |
4 | אבקת נירוסטה מתכת מסנן סינון דיוק 2μm~40μm |
5 | זרימת סינון 1x10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | ניתן לשנות מסנן. |
תכונות המוצר של פילטר
1 | טווח יישום רחב, טווח זרימה בין 15 ל-300SL/דקה. |
2 | יש לו תאימות טובה עם רוב גזי תהליך מוליכים למחצה בטוהר גבוה. |
3 | יכולת סינון של 3 ננו-חלקיקים שומרת על יעילות זרימה גבוהה ועל ירידת לחץ קטנה במיוחד. |
4 | משטח מלוטש 5Ra יכול למנוע זיהום פנימי. |
5 | אופים עם חנקן חם לאחר מים דה-יונים כדי לעמוד בתקני תהליך מוליכים למחצה. |
6 | סביבת ייצור, ניקיון ואריזה של בית מלאכה אספטי ללא אבק ברמה של 1000. |
7 | בדיקת דליפת 100% הליום. |
מִפרָצוֹן | מוֹצָא | |
1 | התאמה לצינור בגודל 1/8 אינץ' | התאמה לצינור בגודל 1/8 אינץ' |
2 | התאמת צינור בגודל 1/4 אינץ' | התאמת צינור בגודל 1/4 אינץ' |
3 | התאמה לצינור בגודל 3/8 אינץ' | התאמה לצינור בגודל 3/8 אינץ' |
4 | התאמה לצינור בגודל 1/2 אינץ' | התאמה לצינור בגודל 1/2 אינץ' |
5 | התאמת צינור 6 מ"מ | התאמת צינור 6 מ"מ |
6 | התאמת צינור 8 מ"מ | התאמת צינור 8 מ"מ |
7 | התאמת צינור 10 מ"מ | התאמת צינור 10 מ"מ |
8 | התאמת צינור 12 מ"מ | התאמת צינור 12 מ"מ |
9 | 1/8 אינץ' NPT נקבה | 1/8 אינץ' NPT נקבה |
10 | 1/4 אינץ' נקבה NPT | 1/4 אינץ' נקבה NPT |
11 | 1/4 אינץ' NPT זכר | 1/4 אינץ' NPT זכר |
12 | 3/8 אינץ' NPT זכר | 3/8 אינץ' NPT זכר |
13 | 1/2 אינץ' NPT זכר | 1/2 אינץ' NPT זכר |
פרמטרים של ביצועי מוצר של מסנן
1 | דיוק סינון | ≥0.0025 מיקרומטר | |
2 | יעילות סינון | שיעור הסרה 99.99999%≥0.0025μm | |
3 | זרימה מדורגת | 15 ליטר/דקה | |
4 | 60 ליטר/דקה | ||
5 | 120 ליטר/דקה | ||
6 | 200 ליטר/דקה | ||
7 | 300 ליטר/דקה | ||
8 | הרכב מסנן | אלמנט מסנן | 316L/PTFE |
9 | דיור | נירוסטה 316L | |
10 | תנאי עבודה | לחץ כניסה מקסימלי | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | לחץ דיפרנציאלי מרבי | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | טמפרטורת פעולה מקסימלית | 430 ℃ (גז אינרטי) | |
13 | שיעור דליפת הליום | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | גימור פני השטח | ≤Ra 5μin |